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技术规格及参数
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1. 最大扫描长度≥180mm；
2. 测试所允许的最大样品高度≥50mm；
3. *垂直方向的扫描范围≥1000微米；
4. *测试高度方向的重复性＜0.4nm（1微米的标准台阶）；
5. 测试垂直分辨率≤0.1nm
6. XY移动载物台，X≥150mm行程,Y≥150mm行程；
7．样品台尺寸不小于8英寸，可360°自动旋转
8. 探针压力：1-15mg范围内可连续调节，能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品。
9. 系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性
10. 提供专用分析软件并终身免费升级
11． 多次扫描分析≥15次
12. *仪器采用成熟的LVDT传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性
13. *标配带有磁吸附自动更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上
14. 仪器具有三维扫描功能
15. *配有薄膜应力测量功能
16.具备测量10nm及以下厚度薄膜的能力
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